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微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

国家标准
标准编号:GB/T 34899-2017 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。
本标准适用于微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
英文名称:  Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2017-11-01
实施日期:  2018-05-01
提出单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位:  中北大学、中机生产力促进中心
起草人:  石云波、唐军、程红兵、崔建功、李海斌、朱悦
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
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