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| 英文名称： |
General specification for MEMS electric field sensor |
 中标分类： |
>>>>31.200 |
| ICS分类： |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2018-05-14 |
| 实施日期： |
2018-12-01
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| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
中国科学院电子学研究所、中机生产力促进中心、西安西谷微电子有限责任公司 |
| 起草人： |
夏善红、彭春荣、李海斌、郑凤杰、程红兵、朱悦、白巍 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2018-05-01 |