电子工业用气体 氦 |
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| 标准编号：GB/T 16943-1997 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。 |
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| 英文名称： |
Gases for electronic industry--Helium |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 16943-2009代替 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 采标情况： |
≡SEMI C3.20-92 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1997-08-13 |
| 实施日期： |
1998-05-01
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| 作废日期： |
2010-05-01
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| 首发日期： |
1997-08-13 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
化学工业部西南化工研究院 |
| 页数： |
平装16开， 页数：6， 字数：7千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066.1-14391 |
| 出版日期： |
2004-04-11 |
| 标准前页： |
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