电子工业用气体 高纯氯 |
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| 标准编号：GB/T 18994-2014 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。
本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规
模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。
分子式:Cl2。
相对分子质量:70.90(按2009年国际相对原子质量计算)。 |
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| 英文名称： |
Gases for electronic industry—High purity chlorine |
 替代情况： |
替代GB/T 18994-2003 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2014-12-22 |
| 实施日期： |
2015-07-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) |
| 起草单位： |
西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司 |
| 起草人： |
周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2015-07-01 |
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替 GB/T18994—2003《电子工业用气体 高纯氯》。与 GB/T18994—2003相比,除编辑性修改外主要技术内容变化如下:
———修改了范围(见第1章,2003年版的第1章);
———修改了规范性引用文件(见第2章,2003年版的第2章);
———修改了技术要求(见第3章,2003年版的第3章);
———修改了抽样、判定(见4.1,2003年版的第5章);
———删去了取样装置的规定(2003年版的4.1);
———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见4.3,2003年版的4.3、4.4);
———增加了氢含量的测定方法(见4.3);
———修改了水分含量的测定方法(见4.4,2003年版的4.5);
———增加了金属元素含量的测定方法(见4.5);
———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2003年版的第6、7章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司。
本标准主要起草人:周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T18994—2003。 |
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下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB5099 钢质无缝气瓶
GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB7144 气瓶颜色标志
GB11984 氯气安全规程
GB14193 液化气体气瓶充装规定
GB15258 化学品安全标签编写规定
GB16804 气瓶警示标签
GB/T26571 特种气体储存期规范
GB/T28726—2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版) |
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