电子工业用气体三氟化氮 |
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| 标准编号：GB/T 21287-2007 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：38.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 |
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| 英文名称： |
Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 21287-2021代替 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2007-12-14 |
| 实施日期： |
2008-07-01
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| 作废日期： |
2022-05-01
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| 首发日期： |
2007-12-14 |
| 提出单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1) |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院等 |
| 起草人： |
余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠 |
| 计划单号： |
20051092-T-469 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2008-07-01 |
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本标准根据SEMI(半导体材料和设备国际组织)的《三氟化氮》(SEMIC3.39-0304)2004年版标准,并结合我国三氟化氮生产的实际情况制定。
本标准的附录C 为规范性附录,附录A、附录B、附录D 为资料性附录。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)提出并归口。
本标准由湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草。
本标准参加起草单位有:核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等。
本标准主要起草人:余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠。
本标准为首次发布。 |
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前言Ⅲ
1 范围1
2 规范性引用文件1
3 要求1
4 试验方法2
5 包装、标志、贮运及安全5
附录A(资料性附录) 切割气路流程示意图7
附录B(资料性附录) 测定三氟化氮中一氧化碳的气路切换装置流程示意图8
附录C(规范性附录) 可水解氟化物和总酸度的测定9
附录D(资料性附录) 三氟化氮的化学性质和物理参数12 |
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下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190 危险货物包装标志
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则(GB/T3723-1999,idtISO3165:1976)
GB5099 钢质无缝气瓶(GB5099-1985,neqISO1405:1983)
GB/T5832.1 气体湿度的测定 第1部分:电解法
GB/T6681 气体化工产品采样通则
GB7144 气瓶颜色标志
GB14194 永久气体充瓶充装规定
气瓶安全监察规程
危险化学品安全管理条例
特种设备安全监察条例 |
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