工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> 国家标准(GB) >> GB/T 18867-2014

电子工业用气体 六氟化硫

国家标准
标准编号:GB/T 18867-2014 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。
本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
分子式:SF6。
相对分子质量:146.0564192(按2007年国际相对原子质量计算)。
英文名称:  Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 18867-2002
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2014-12-22
实施日期:  2015-07-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位:  黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司等
起草人:  黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李晓明、曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2015-07-01
相关搜索: 电子工业 气体  [ 评论 ][ 关闭 ]
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准代替 GB/T18867—2002《电子工业用气体 六氟化硫》。与 GB/T18867—2002相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:
———修改了范围(见第1章,2002年版的第1章);
———修改了规范性引用文件(见第2章,2002年版的第2章);
———修改了技术指标(见第3章,2002年版的第3章);
———修改了抽样、判定和复验(见4.1,2002年版的第5章);
———修改了氧+氩、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的测定方法(见4.3,2002年版的4.2、4.3);
———删除了六氟乙烷、八氟丙烷含量的测定方法(见2002年版的4.4);
———增加了一氧化碳和甲烷含量的测定方法(见4.3);
———修改了水分含量的测定方法(见4.4,2002年版的4.5);
———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2002年版的第6章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、光明化工研究设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、核工业理化工程研究院华核新技术开发公司。
本标准主要起草人:黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李晓明、曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T18867—2002。
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB190 危险货物包装标志
GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则
GB5099 钢质无缝气瓶
GB/T5832.1 气体湿度的测定 第1部分:电解法
GB/T5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB7144 气瓶颜色标志
GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T12022 工业六氟化硫
GB14193 液化气体气瓶充装规定
GB15258 化学品安全标签编写规定
GB16804 气瓶警示标签
GB/T26571 特种气体储存期规范
GB/T28726—2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)

工业气体与化学气体相关标准 第1页 第2页 
 GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
 GB/T 21287-2007 电子工业用气体三氟化氮
 GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
 GB/T 22024-2008 气雾剂级正丁烷(A-17)
 GB/T 22025-2008 气雾剂级异丁烷(A-31)
 GB/T 22026-2008 气雾剂级丙烷(A-108)
 GB/T 22053-2008 戊烷发泡剂
 GB/T 23938-2009 高纯二氧化碳
 GB/T 23938-2021 高纯二氧化碳
 GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢
 免费下载工业气体与化学气体标准相关目录

工业气体相关标准 第1页 第2页 第3页 
 GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
 GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
 GB/T 26251-2010 氟和氟氮混合气
 GB/T 28051-2011 焊接绝热气瓶充装规定
 GB/T 28052-2011 非重复充装焊接钢瓶充装规定
 GB/T 28123-2011 工业氦
 GB/T 28125.2-2020 气体分析 空分工艺中危险物质的测定 第2部分:矿物油的测定
 GB/T 28729-2012 氧化亚氮
 GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
 GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
 免费下载工业气体标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
baidu 中搜索:GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
yahoo 中搜索:GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
soso 中搜索:GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
中搜索:GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved