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电子工业用气体 六氟化硫

国家标准
标准编号:GB/T 18867-2002 标准状态:已作废
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。
英文名称:  Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 18867-2014代替
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
什么是采标情况? 采标情况:  NEQ SEMI C3.24:1995
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布日期:  2002-10-15
实施日期:  2003-04-01
作废日期:  2015-07-01
首发日期:  2002-10-15
复审日期:  2004-10-14
提出单位:  原国家石油和化学工业局
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  中核红华特种气体股份有限公司
起草人:  杜伟华、张奎、贺国武、张军、何道善
页数:  平装16开, 页数:9, 字数:16千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-19213
出版日期:  2003-04-01
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