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电子工业用气体 氧

国家标准
标准编号:GB/T 14604-1993 标准状态:已作废
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标准简介
本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求,检验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。
英文名称:  Gases for electronic industry. Oxygen
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 14604-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
什么是采标情况? 采标情况:  ≈SEMI C3 STD.16-86 C3 STD.17-86 C3.23-90
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1993-08-26
实施日期:  1994-07-01
作废日期:  2010-05-01
首发日期:  1993-08-26
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  化工部西南化工研究院
页数:  7页
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