工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> 国家标准(GB) >> GB/T 15909-1995

电子工业用气体 硅烷(SiH4)

国家标准
标准编号:GB/T 15909-1995 标准状态:已作废
标准价格:10.0 客户评分:星星星星1
本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
英文名称:  Gas for electronic industry-Silane
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 15909-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
什么是采标情况? 采标情况:  =SEMI-93
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1995-01-02
实施日期:  1996-08-01
作废日期:  2010-05-01
首发日期:  1995-12-20
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  化工部西南化工研究院
页数:  平装16开, 页数:9, 字数:13千字
出版社:  中国标准出版社
标准前页: 浏览标准前文  || 下载标准前页   
相关搜索: 气体 电子工程  [ 评论 ][ 关闭 ]

工业气体与化学气体相关标准 第1页 第2页 
 GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
 GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢
 GB/T 16942-2009  电子工业用气体 氢
 GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦
 GB/T 16943-2009  电子工业用气体 氦
 GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮
 GB/T 16944-2009  电子工业用气体 氮
 GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩
 GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
 GB/T 17873-1999 纯氖
 免费下载工业气体与化学气体标准相关目录

工业气体相关标准 第1页 第2页 第3页 
 GB/T 17873-2014 纯氖和高纯氖
 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼
 GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
 GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼
 GB/T 18299-2001 机动车用液化石油气钢瓶集成阀
 GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
 GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
 GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯
 GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
 GB/T 21287-2007 电子工业用气体三氟化氮
 免费下载工业气体标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
您可能还需要 更多
履带起重机安全规程
起重机械名词术语 流动式起重机
起重机械名词术语 桅杆起重机
起重设备安装工程施工及验收规范..
港口轮胎起重机试验方法
起重机 术语 第5部分:桥式和门..
载货汽车车轮性能要求和试验方法..
起重吊钩 直柄吊钩使用检查
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
baidu 中搜索:GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
yahoo 中搜索:GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
soso 中搜索:GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
中搜索:GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved