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电子工业用气体 磷化氢

国家标准
标准编号:GB/T 14851-1993 标准状态:已作废
标准价格:12.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。
英文名称:  Gas for electronic industry-Phosphine
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 14851-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  >>>>G87
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
什么是UDC分类?  UDC分类:  661.637;621.3
什么是采标情况? 采标情况:  ≈SEMI C3STD.6-88;C3STD.7-88
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1993-01-02
实施日期:  1994-10-01
作废日期:  2010-05-01
首发日期:  1993-12-30
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  化工部光明化工研究所
页数:  平装16开, 页数:13, 字数:22千字
出版社:  中国标准出版社
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