电子工业用气体 磷化氢 |
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标准编号:GB/T 14851-1993 |
标准状态:已作废 |
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标准价格:12.0 元 |
客户评分: |
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本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。 |
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英文名称: |
Gas for electronic industry-Phosphine |
标准状态: |
已作废 |
替代情况: |
被GB/T 14851-2009代替 |
中标分类: |
>>>>G87 |
ICS分类: |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
UDC分类: |
661.637;621.3 |
采标情况: |
≈SEMI C3STD.6-88;C3STD.7-88 |
发布部门: |
国家技术监督局 |
发布日期: |
1993-01-02 |
实施日期: |
1994-10-01
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作废日期: |
2010-05-01
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首发日期: |
1993-12-30 |
复审日期: |
2004-10-14 |
归口单位: |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
主管部门: |
国家标准化管理委员会 |
起草单位: |
化工部光明化工研究所 |
页数: |
平装16开, 页数:13, 字数:22千字 |
出版社: |
中国标准出版社 |
标准前页: |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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