硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法 |
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| 标准编号：GB/T 1552-1995 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：13.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了用直排四探针测量硅、锗单晶电阻率的方法。本标准适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍的硅、锗单晶的体电阻率以及测量直径大于探针间距的10倍、厚度小于探针间距4倍的硅、锗单晶圆片（简称圆片）的电阻率。 |
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