标准分类
最新标准
New!
标准公告
标准动态
标准论坛
高级查询
帮助
|
登录
|
注册
您的位置:
工标网
>>
国家标准(GB)
>> GB/T 17864-1999
收藏本站
联系客服
关键尺寸(CD)计量方法
标准编号:
GB/T 17864-1999
标准状态:
现行
标准价格:
29.0
元
客户评分:
本标准有现货
可当天发货
一线城市最快隔天可到!
如何购买?问客服
标准简介
本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题,也不涉及工艺中其他影响因素的变化,如大圆片的热处理、曝光机的聚集控制、以及材料等。
英文名称:
CD Metrology procedures
替代情况:
GB/T 9043-1988
中标分类:
电子元器件与信息技术
>>
微电路
>>
L56半导体集成电路
ICS分类:
电子学
>>
31.200集成电路、微电子学
采标情况:
idt SEMI P24:1994
发布部门:
国家质量技术监督局
发布日期:
1999-09-01
实施日期:
2000-06-01
首发日期:
1999-09-13
复审日期:
2004-10-14
归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:
国家标准化管理委员会
起草单位:
中国科学院微电子中心
页数:
平装16开, 页数:10, 字数:15千字
出版社:
中国标准出版社
书号:
155066.1-16386
出版日期:
2004-08-22
标准前页:
浏览标准前文
||
下载标准前页
相关搜索:
计量
尺寸
测量
[
评论
][
关闭
]
半导体集成电路相关标准
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
更多>>
GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
GB/T 17940-2000 半导体器件 集成电路 第3部分:模拟集成电路
GB/T 18500.1-2001 半导体器件 集成电路 第4部分:接口集成电路 第一篇:线性数字/模拟转换器(DAC)空白详细规范
GB/T 18500.2-2001 半导体器件 集成电路 第4部分:接口集成电路 第二篇:线性模拟/数字转换器(ADC)空白详细规范
GB/T 19403.1-2003 半导体器件 集成电路 第11部分:第1篇:半导体集成电路 内部目检 (不包括混合电路)
GB/T 20296-2006 集成电路记忆法与符号
GB/T 20515-2006 半导体器件 集成电路 第5部分:半定制集成电路
GB/T 20870.10-2023 半导体器件 第16-10部分:单片微波集成电路技术可接收程序
GB/T 20870.2-2023 半导体器件 第16-2部分:微波集成电路 预分频器
GB/T 20870.5-2023 半导体器件 第16-5部分:微波集成电路 振荡器
免费下载
半导体集成电路标准
相关目录
集成电路、微电子学相关标准
第1页
第2页
第3页
第4页
GB/T 19248-2003 封装引线电阻测试方法
GB/T 20296-2012 集成电路记忆法与符号
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
GB/T 26113-2010E 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则(英文版)
GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范
GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法
免费下载
集成电路、微电子学标准
相关目录
发表留言
内 容
用户:
口令:
匿名发表
客服中心
有问题?找在线客服
400-7255-888
1197428036
992023608
18976748618
13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题
帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
您可能还需要
更多
电子器件详细规范 半导体集成电路CB..
半导体集成音响电路音频功率放大器测试..
半导体集成电路Jμ8254型可编程定..
半导体集成电路Jμ8259A型可编程..
半导体集成电路文字符号 引出端功能符..
半导体集成电路型号命名方法
半导体器件 集成电路 第11部分:半..
半导体集成电路系列和品种 彩电遥控器..
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
搜索更多
中搜索:
GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
中搜索:
GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
中搜索:
GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
中搜索:
GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
中搜索:
GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
付款方式
-
关于我们
-
帮助中心
-
联系我们
-
诚聘英才
-
合作伙伴
-
使用条款
购书咨询:0898-3137-2222/13876321121 客服热线:400-7255-888
(工作日8:30-18:00、节假日9:00-17:00)
QQ:
1197428036
992023608
有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved