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| 英文名称： |
Micro-electromechanical system technology-General rules for the assessment of micro-geometrical parameters |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 发布部门： |
General Administration of Quality Supervision,Inspection and Quarantine of the Peoples Republic of China and Standardization Administration of the Pe |
| 发布日期： |
2011-01-10 |
| 实施日期： |
2011-10-01
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| 提出单位： |
SAC/TC 336 the National Standardization Committee of Micro-electromechanical System Technology |
| 归口单位： |
SAC/TC 336 the National Standardization Committee of Micro-electromechanical System Technology |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2017-05-01 |