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| 英文名称： |
Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 14140-2009代替 |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属 |
| ICS分类： |
冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合 |
| UDC分类： |
669.782 |
| 采标情况： |
ASTM F613-1982,EQV |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1993-02-06 |
| 实施日期： |
1993-10-01
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| 作废日期： |
2010-06-01
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| 首发日期： |
1993-02-06 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
洛阳单晶硅厂 |
| 页数： |
4页 |
| 标准前页： |
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