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硅片直径测量方法 光学投影法

国家标准
标准编号:GB/T 14140.1-1993 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为声φ40~φ100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。
英文名称:  Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 14140-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782
什么是采标情况? 采标情况:  ASTM F613-1982,EQV
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1993-02-06
实施日期:  1993-10-01
作废日期:  2010-06-01
首发日期:  1993-02-06
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  洛阳单晶硅厂
页数:  4页
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