砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 |
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| 标准编号：GB/T 8758-1988 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标准适用于砷化镓外延层厚度的测定。可测厚度大于2μm。要求衬底电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。 |
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| 英文名称： |
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 8758-2006代替 |
| 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析 |
| UDC分类： |
661.868.1.46;620.1 |
| 发布部门： |
国家标准局 |
| 发布日期： |
1988-02-25 |
| 实施日期： |
1989-02-01
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| 作废日期： |
2006-11-01
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| 首发日期： |
1988-02-25 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
中国有色金属工业协会 |
| 主管部门： |
中国有色金属工业协会 |
| 起草单位： |
北京有色金属研究总院 |
| 页数： |
5页 |
| 标准前页： |
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