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氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

国家标准
标准编号:T/ZSA 231-2024 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。
本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片,对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
英文名称:  Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  中关村标准化协会
发布日期:  2024-05-15
实施日期:  2024-05-16
提出单位:  中关村标准化协会技术委员会
什么是归口单位? 归口单位:  中关村标准化协会技术委员会
起草单位:  中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司
起草人:  李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋
出版社:  中国标准出版社
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