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有色金属行业标准(YS)
>> YS/T 23-1992
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硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
标准编号：
YS/T 23-1992
标准状态：
已作废
标准价格：
8.0
元
客户评分：
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标准简介
本标 准 规 定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法
本标 准 适 用于在<111>,tloo>和(110)晶向的硅单晶衬底仁生长的硅外延层厚度的测缝
外延 层 中 应存在着发育完整的堆垛层错，其大小可用干涉相衬显微镜r:接观察(非破坏性的)，或经化学腐蚀后用金相显微镜观察(破坏性的)。测量范围为2^75 um.
标准状态：
已作废
替代情况：
被
YS/T 23-2016
代替
中标分类：
冶金
>>
半金属与半导体材料
>>
H80半金属与半导体材料综合
ICS分类：
电气工程
>>
29.045半导体材料
发布部门：
中国有色金属工业总公司
发布日期：
1992-03-09
实施日期：
1993-01-01
作废日期：
2016-09-01
提出单位：
中国有色金属工业总公司标准计量研究
起草单位：
上海市有色金属总公司半导体材料i
起草人：
吴耀芬、姚保纲、周康权
页数：
3页
出版日期：
1993-01-01
标准前页：
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