GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。


英文名称：	Generic specification of ion beam etching system
标准状态：	已作废
替代情况：	被GB/T 15861-2012代替
中标分类：	电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类：	电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：	国家技术监督局
发布日期：	1995-01-02
实施日期：	1996-08-01
作废日期：	2013-02-15
首发日期：	1995-12-22
复审日期：	2004-10-14
归口单位：	信息产业部（电子）
主管部门：	信息产业部（电子）
起草单位：	电子部长沙半导体工艺设备所
页数：	平装16开，页数：10，字数：15千字
出版社：	中国标准出版社
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