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电子工业用气体 氯化氢

国家标准
标准编号:GB/T 14602-1993 标准状态:已作废
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业,在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。
英文名称:  Gases for electronic industry. Hydrogen chloride
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 14602-2014代替
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1993-08-26
实施日期:  1994-07-01
作废日期:  2015-07-01
首发日期:  1993-08-26
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  化工部西南化工研究院
页数:  7页
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