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表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

国家标准
标准编号:GB/T 20175-2025 标准状态:即将实施
标准价格:43.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求,以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置,实现最佳深度分辨。
本文件不涵盖特殊多层膜系(例如δ掺杂层)的使用。
英文名称:  Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials
标准状态:  即将实施
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 20175-2006
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
什么是采标情况? 采标情况:  ISO 14606:2022
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2025-06-30
实施日期:  2026-01-01  即将实施 距离实施日期还有149
提出单位:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
起草单位:  清华大学、中国矿业大学(北京)、中国人民公安大学、北京大学、中山大学、中国工程物理研究院材料研究所
起草人:  李展平、郭冲、章宇娟、刘婕、满瀚泽、孙令辉、徐建业、李芹、马静怡、周凌、胡小康、陈建、伏晓国
页数:  24页
出版社:  中国标准出版社
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