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表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

国家标准
标准编号:GB/T 20176-2025 标准状态:即将实施
标准价格:43.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件详细说明了用标定的均匀掺杂物质(用注入硼的参考物质校准)确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×1016 atoms/cm3~1×1020 atoms/cm3。
英文名称:  Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准状态:  即将实施
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 20176-2006
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
什么是采标情况? 采标情况:  ISO 14237:2010
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2025-06-30
实施日期:  2026-01-01  即将实施 距离实施日期还有149
提出单位:  全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
什么是归口单位? 归口单位:  全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
起草单位:  清华大学、中国地质大学(北京)、中国矿业大学(北京)、中国人民公安大学、北京大学、中山大学、中国工程物理研究院材料研究所
起草人:  李展平、郭冲、王梦琴、和平、王富芳、刘兆伦、郎玉博、李芹、张硕、刘可心、吴美璇、陈建、伏晓国
页数:  24页
出版社:  中国标准出版社
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