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英文名称: |
Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method |
替代情况: |
替代GB/T 24581-2009 |
中标分类: |
冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法 |
ICS分类: |
冶金>>77.040金属材料试验 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2022-03-09 |
实施日期: |
2022-10-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备与材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备与材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
起草单位: |
乐山市产品质量监督检验所、青海芯测科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、新特能源股份有限公司、有研半导体硅材料股份公司、四川永祥股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司等 |
起草人: |
梁洪、赵晓斌、万涛、薛心禄、魏东亮、王彬、邱艳梅、杨素心、李素青、李朋飞、赵培芝、王永涛、魏强、楚东旭、周延江、刘文明、刘红、何建军、皮坤林 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |