|
英文名称: |
Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer |
替代情况: |
被GB/T 24578-2024代替 |
中标分类: |
冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法 |
ICS分类: |
冶金>>77.040金属材料试验 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2017-10-14 |
实施日期: |
2018-05-01
|
作废日期: |
2025-02-01
即将作废 距离作废日期还有64天
|
提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
起草单位: |
天通控股股份有限公司 |
起草人: |
康森、宋岩岩、邵峰、沈瞿欢、於震杰 |
页数: |
16页 |
出版社: |
中国标准出版社 |