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蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

国家标准
标准编号:GB/T 34504-2017 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。
本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)~92(U)号(除去铝和氧),且面密度在10 9 atoms/cm2~10 15 atoms/cm 2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。?
英文名称:  Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
什么是替代情况? 替代情况:  GB/T 24578-2024代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2017-10-14
实施日期:  2018-05-01
作废日期:  2025-02-01  即将作废 距离作废日期还有87
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:  天通控股股份有限公司
起草人:  康森、宋岩岩、邵峰、沈瞿欢、於震杰
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
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