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光掩模对准标记规范
标准编号:
GB/T 16524-1996
标准状态:
现行
标准价格:
24.0
元
客户评分:
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标准简介
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
英文名称:
Specification for registration marks for photomasks
中标分类:
电子元器件与信息技术
>>
电子工业生产设备
>>
L95电子工业生产设备综合
ICS分类:
电子学
>>
31.200集成电路、微电子学
采标情况:
=SEMI P6-88
发布部门:
国家技术监督局
发布日期:
1996-09-09
实施日期:
1997-05-01
首发日期:
1996-09-09
复审日期:
2004-10-14
归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:
国家标准化管理委员会
起草单位:
中国科学院微电子中心
页数:
平装16开, 页数:6, 字数:6千字
出版社:
中国标准出版社
书号:
155066.1-13684
出版日期:
2004-04-10
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