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制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

国家标准
标准编号:GB/T 36646-2018 标准状态:现行
标准价格:38.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。
本标准适用于制备直径50.8 mm~152.4 mm氮化物半导体材料的HVPE设备。
英文名称:  Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.220电子电信设备用机电零部件
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2018-09-17
实施日期:  2019-01-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
主管部门:  全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC 28)
起草单位:  东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:  刘鹏、孙永健、丁晓民、冯亚彬、王健辉
页数:  20页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2018-09-01
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