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| 英文名称： |
Silicon on sapphire epitaxial wafers |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
29.040.30 |
| UDC分类： |
621.382.032.9 |
| 采标情况： |
SEMI M3-1983,REF |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1992-01-02 |
| 实施日期： |
1993-08-01
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| 首发日期： |
1992-12-28 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
天津半导体技术研究所 |
| 页数： |
平装16开， 页数：8， 字数：12千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066.1-9656 |
| 出版日期： |
2004-08-10 |
| 标准前页： |
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