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蓝宝石单晶抛光衬底片

国家标准
标准编号:GB/T 13843-1992 标准状态:已废止
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
英文名称:  Polished monocrystalline sapphire substrates
标准状态:  已废止
什么是替代情况? 替代情况:  废止公告:国家标准公告2017年第31号
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  29.040.30
什么是UDC分类?  UDC分类:  621.382.032.9
什么是采标情况? 采标情况:  SEMI M3-1983,REF
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1992-01-02
实施日期:  1993-08-01
作废日期:  2017-12-15
首发日期:  1992-12-28
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  天津半导体技术研究所
页数:  平装16开, 页数:10, 字数:16千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-9649
出版日期:  2004-08-13
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