半导体器件生产用扩散炉通用技术条件 |
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| 标准编号：SJ 1794-1981 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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| 英文名称： |
General specification for diffusion furnace for semiconductor device manufacturing |
 中标分类： |
医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理 |
| 发布日期： |
1981-10-01 |
| 实施日期： |
1981-10-01
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| 页数： |
4页 |
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