部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法, 以及洁净室和洁净区性能的检侧方法。性能检侧针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型,为此,本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的登求,对于某些检测项目,本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意,也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。
本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺 |
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