工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> 国家标准(GB) >> GB/T 32278-2015

碳化硅单晶片平整度测试方法

国家标准
标准编号:GB/T 32278-2015 标准状态:现行
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度,即总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)、弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)的测试方法。
本标准适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm,厚度0.13mm~1mm 碳化硅单晶抛光片平整度的测试。
英文名称:  Test method for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2015-12-10
实施日期:  2017-01-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
起草单位:  北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。
起草人:  陈小龙、郑红军、张玮、郭钰。
页数:  8页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2017-01-01
  [ 评论 ][ 关闭 ]
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。
本标准主要起草人:陈小龙、郑红军、张玮、郭钰。
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T14264 半导体材料术语
GB50073 洁净厂房设计规范

金属物理性能试验方法相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
 GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
 GB/T 3248-1982 铜,镍及其合金电阻系数测定方法
 GB/T 3249-1982 难熔金属及化合物粉末粒度的测定方法 费氏法
 GB/T 3249-2022 金属及其化合物粉末费氏粒度的测定方法
 GB/T 32791-2016 铜及铜合金导电率涡流测试方法
 GB/T 33908-2017 铝电解质初晶温度测定技术规范
 GB/T 34190-2017 电工钢表面涂层的重量(厚度) X射线光谱测试方法
 GB/T 34210-2017 蓝宝石单晶晶向测定方法
 GB/T 34482-2017 建筑用铝合金隔热型材传热系数测定方法
 免费下载金属物理性能试验方法标准相关目录

金属材料试验相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 33362-2016 金属材料 硬度值的换算
 GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法
 GB/T 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法
 GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
 GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
 GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
 GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
 GB/T 3656-1983 电工用纯铁磁性能测量方法
 GB/T 3657-1983 软磁合金直流磁性能测量方法
 GB/T 3658-1990 软磁合金交流磁性能测量方法
 免费下载金属材料试验标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
baidu 中搜索:GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
yahoo 中搜索:GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
soso 中搜索:GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
中搜索:GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved