表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定 |
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| 标准编号：GB/T 28632-2012 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：43.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm 的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm 的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。 |
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| 英文名称： |
Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 采标情况： |
ISO 18516:2006 IDT |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2012-07-31 |
| 实施日期： |
2013-02-01
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| 首发日期： |
2012-07-31 |
| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 主管部门： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心 |
| 起草人： |
徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰 |
| 页数： |
24页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2013-02-01 |
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准采用翻译法等同采用ISO18516:2006《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准主要起草人:徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰。 |
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前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语、定义、符号和缩略语 1
4 一般信息 2
5 直边法测量横向分辨率 3
6 栅格法测量横向分辨率 8
7 金岛法测量横向分辨率 10
附录A (资料性附录) 带聚焦X射线束斑的XPS仪器横向分辨率测定 14
附录B(资料性附录) 二次电子线扫描谱横向分辨率测定 16
附录C (资料性附录) 俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定 17
参考文献 19 |
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GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT) |
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