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表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

国家标准
标准编号:GB/T 29557-2013 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
英文名称:  Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
什么是采标情况? 采标情况:  ISO/TR 15969:2001 IDT
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2013-07-19
实施日期:  2014-03-01
提出单位:  全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)
主管部门:  全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)
起草单位:  中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。
起草人:  陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066·1-47504
出版日期:  2014-03-01
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前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO/TR15969:2001《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》。
本标准由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准负责起草单位:中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。
本标准主要起草人:陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。

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