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砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

国家标准
标准编号:GB/T 8758-2006 标准状态:现行
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量,测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm,外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
英文名称:  Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 8758-1988
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2006-07-18
实施日期:  2006-11-01
首发日期:  1988-02-25
复审日期:  2023-12-28
提出单位:  中国有色金属工业协会
什么是归口单位? 归口单位:  中国有色金属工业协会
主管部门:  中国有色金属工业协会
起草单位:  北京有色金属研究总院
起草人:  王彤涵
计划单号:  20021942-T-610
页数:  平装16开/页数:7/字数:8千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066·1-28139
出版日期:  2006-11-01
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