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电子行业标准(SJ)
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电子级氩
标准编号：
SJ 2797-1987
标准状态：
已废止
标准价格：
8.0
元
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标准简介
本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氩、按其使用要求电子级氩分为两级，代号为：电子 Ⅰ级氩代号为：DZAr-Ⅰ ; Ⅱ级氩代号为：DZAr- Ⅱ
英文名称：
Electronic grade Argon
标准状态：
已废止
中标分类：
综合
>>
标准化管理与一般规定
>>
A01技术管理
采标情况：
SEMI标准 NEQ
发布部门：
中华人民共和国电子工业部
发布日期：
1987-04-06
实施日期：
1988-01-01
作废日期：
2010-01-20
提出单位：
中国电子学会洁净技术学会
起草单位：
电子工业部标准化研究所
起草人：
赵长春、周定华
页数：
3页
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
1988-01-01
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