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英文名称: |
Method for determination of trace Carbon dioxide in electronic grade gases-Hydrogen flame ionzation detertor method |
标准状态: |
已废止 |
中标分类: |
综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理 |
采标情况: |
SEMI标准 NEQ |
发布部门: |
中华人民共和国电子工业部 |
发布日期: |
1987-04-06 |
实施日期: |
1988-01-01
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作废日期: |
2010-01-20
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提出单位: |
中国电子学会洁净技术学会 |
起草单位: |
电子工业部标准化研究所 |
起草人: |
朱国华、赵长春 |
页数: |
5页 |
出版社: |
电子工业出版社 |
出版日期: |
1988-01-01 |
标准前页: |
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