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300?900 UM 硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

国家标准
标准编号:GB/T 14143-1993 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300~900μm的硅片间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。
英文名称:  300~900μm Silicon slices-Measuring of interstitial oxygen content-Infrared absorption method
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  GB/T 1557-2006代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  29.040.30
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782
什么是采标情况? 采标情况:  ASTM F121-1983,REF
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1993-02-06
实施日期:  1993-10-01
作废日期:  2006-11-01
首发日期:  1993-02-06
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  中国有色金属工业协会
主管部门:  中国有色金属工业协会
起草单位:  机电部第四十六研究所
页数:  平装16开, 页数:6, 字数:9千字
出版社:  中国标准出版社
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