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| 英文名称: |
Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction |
| 标准状态: |
已作废 |
替代情况: |
被GB/T 19444-2025代替 |
中标分类: |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法 |
ICS分类: |
电气工程>>绝缘流体>>29.040.01绝缘流体综合 |
采标情况: |
ASTM F1239-1994 IDT |
| 发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期: |
2004-02-05 |
| 实施日期: |
2004-07-01
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| 作废日期: |
2026-01-01
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| 首发日期: |
2004-02-05 |
| 复审日期: |
2004-10-14 |
| 提出单位: |
中国有色金属工业协会 |
归口单位: |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门: |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位: |
洛阳单晶硅有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所 |
| 起草人: |
蒋建国、屠妹英、贺东江、章云杰 |
| 页数: |
16开, 页数:5, 字数:9千辽 |
| 出版社: |
中国标准出版社 |
| 书号: |
155066.1-20772 |
| 出版日期: |
2004-07-01 |
| 标准前页: |
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