|
| 英文名称： |
ArF photoresist monomer for integrated circuits Part 1: Liquid methacrylate |
 中标分类： |
化工>>合成材料>>G30合成材料综合 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2020-12-31 |
| 实施日期： |
2021-03-01
|
| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
徐州博康信息化学品有限公司 |
| 起草人： |
傅志伟、邵严亮、贺宝元、薛春、杨影影 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
|