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英文名称: |
Electronic specialty gas—1,3-Hexafluorobutadiene |
中标分类: |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
ICS分类: |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2021-08-20 |
实施日期: |
2022-03-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
起草单位: |
浙江省化工研究院有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、昊华气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、衢州氟硅技术研究院、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司等 |
起草人: |
史婉君、张建君、李翔宇、郭君、付梦月、侯玲玲、褚人财、李霞、谭慧、何经余、曹素英、傅铸红、陈艳珊、马建修、曹小林、杨俊豪、王新喜、孙猛、陈洁、吴靓、方华、于庆伟、何波、唐中伟、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、吴克安、白占旗、鬲春利 |
页数: |
16页 |
出版社: |
中国标准出版社 |