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英文名称: |
Electronic specialty gas—Nitric oxide |
中标分类: |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
ICS分类: |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2023-08-06 |
实施日期: |
2024-03-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
起草单位: |
大连科利德光电子材料有限公司、昊华气体有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司等 |
起草人: |
施旖旎、付梦月、陈辉、刘颖、焦培培、郭琼、张天泽、李翔宇、袁瑞玲、邵治平、傅铸红、陈艳珊、金向华、孙猛、廖恒易、茹高艺、曹雪枫、汤萍、牛艳东、李长健、马彬淇、杜大艳、曹小林、方强、袁有录、王小波、尹爱华、常侠、边鲁宁、阳辉、汪正宏、陈洁、吴靓、方华等 |
页数: |
16页 |
出版社: |
中国标准出版社 |