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硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

国家标准
标准编号:GB/T 14146-2021 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件规定了电容?电压法测试硅外延层载流子浓度的方法,包括汞探针电容?电压法和无接触电容?电压法。本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试,测试范围为4×1013 cm-3~8×1016 cm-3,其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行,其中无接触电容?电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。
英文名称:  Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 14146-2009
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2021-05-21
实施日期:  2021-12-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:  南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中电晶华(天津)半导体材料有限公司、有研半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司等
起草人:  骆红、潘文宾、杨素心、赵扬、赵而敬、张佳磊、李慎重、黄黎、严琴、黄宇程、皮坤林
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2021-05-01
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