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| 英文名称： |
Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 采标情况： |
ISO 16413:2013 IDT |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2018-03-15 |
| 实施日期： |
2019-02-01
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| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 主管部门： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
中国计量科学研究院 |
| 起草人： |
王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平 |
| 页数： |
32页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2018-03-01 |