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| 英文名称： |
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2021-05-21 |
| 实施日期： |
2021-12-01
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| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
中国计量科学研究院、华南理工大学 |
| 起草人： |
王海、张艾蕊、王梅玲、任丹华、徐昕荣、范燕 |
| 页数： |
28页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2021-05-01 |