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真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

标准
标准编号:SJ/T 31082-1994 标准状态:已废止
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。
本标准适用于极限压力在1×10^(-5)~1×10^(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。
标准状态:  已废止
什么是替代情况? 替代情况:  公告:中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号)
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L96表面防护设备
实施日期:  1997-01-01
作废日期:  2017-05-12
复审日期:  2017-05-12
页数:  3页
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