真空溅射镀膜设备 |
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标准编号:JB/T 8945-2010 |
标准状态:现行 |
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标准价格:10.0 元 |
客户评分: |
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本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于压力在1×10-1Pa~1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。 |
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英文名称: |
Vacuum sputtering coating plant |
替代情况: |
替代JB/T 8945-1999 |
中标分类: |
机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备 |
ICS分类: |
流体系统和通用件>>23.160真空技术 |
发布部门: |
中华人民共和国工业和信息化部 |
发布日期: |
2010-02-11 |
实施日期: |
2010-07-01
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归口单位: |
全国真空技术标委会 |
起草单位: |
广东中环真空设备有限公司;成都南光机器有限公司;大连远东真空技术有限公司;沈阳真空技术研究所 |
出版社: |
机械工业出版社 |
出版日期: |
2010-07-01 |
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