|
英文名称: |
Test method for thickness of epitaxial layers—Stacking fault size |
替代情况: |
替代YS/T 23-1992 |
中标分类: |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
ICS分类: |
冶金>>77.040金属材料试验 |
发布部门: |
中华人民共和国工业和信息化部 |
发布日期: |
2016-04-05 |
实施日期: |
2016-09-01
|
提出单位: |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243) |
归口单位: |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243) |
主管部门: |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243) |
起草单位: |
南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司 |
起草人: |
马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2016-09-01 |