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蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

国家标准
标准编号:GB/T 31353-2014 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片(以下简称蓝宝石衬底片)弯曲度的测试方法。
本标准适用于直径50.8mm~304.8mm,厚度为不小于200μm 的蓝宝石衬底片弯曲度的测试。
英文名称:  Test methods for bow of sapphire substrates
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>金属材料试验>>77.040.99金属材料的其他试验方法
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2014-12-31
实施日期:  2015-09-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)
起草单位:  江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
起草人:  薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、林清香、肖宗杰
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2015-09-01
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前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。
本标准主要起草人:薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、林清香、肖宗杰
引用标准
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