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纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

国家标准
标准编号:GB/T 20307-2006 标准状态:现行
标准价格:38.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm-500nm的点或线的间距。
英文名称:  General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM
什么是中标分类? 中标分类:  仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
什么是ICS分类?  ICS分类:  计量学和测量、物理现象>>17.040 长度和角度测量
 成像技术>>37.020光学设备
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2006-07-19
实施日期:  2007-02-01
首发日期:  2006-07-19
复审日期:  2023-12-28
提出单位:  全国微束分析标准化技术委员会
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  中国科学院地质与地球物理研究所、同济大学,中国科学院化学所,中国地质科学院矿产资源研究所,上海理工大学
起草人:  张训彪、曾荣树、廖宗廷、卢德生、刘芬、李戎、周剑雄、邓保庆等
计划单号:  20030760-T-469
页数:  17页数:17, 字数:26千字
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2007-02-01
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