SJ/T 11181-1998 净化涂胶台通用规范电子行业标准(SJ)-工标网

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标准简介

本标准规定了净化涂胶台(以下简称涂胶台)的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备,其它类型的涂胶设备也可参照使用。


英文名称：	General specification for resist-coating stage with purified room
标准状态：	已废止
替代情况：	公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2024年第17号
中标分类：	医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
ICS分类：	电子学>>31.020电子元件综合
发布日期：	1998-03-11
实施日期：	1998-05-01
作废日期：	2024-07-11
复审日期：	2024-07-11
页数：	9页

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