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| T/ICMTIA PC008-2021 集成电路用硝酸
(现行)
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中标分类:
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ICS 分类:
电气工程>>29.045半导体材料
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发布日期:2021-05-31
实施日期:2021-05-31
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| 简介:
本文件规定了集成电路用硝酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的硝酸。分子式:HNO3相对分子质量:63.01(按2014年国际相对原子质量)
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标准定价: ¥
31.0 元
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| T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸
(现行)
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中标分类:
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ICS 分类:
电气工程>>29.045半导体材料
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发布日期:2021-05-31
实施日期:2021-05-31
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| 简介:
本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。
分子式:HF相对分子质量:20.01(按2014年国际相对原子质量)
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标准定价: ¥
31.0 元
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